Wafer Trim™
Lasersysteme für das Trimmen von Wafern
M350 – Aktives IC-Trimmsystem
Die M350 ist eine fortgeschrittene Systemplattform für höchste Genauigkeiten und Durchsätze in Bezug auf das Trimmen von Wafer-basierenden ICs mit linearen oder gemischten Signalen.
Ihre Vorteile
- Voll integrierter, hochmoderner Laser Trimmer und Testsystem für die Waferbearbeitung
- Eine nachgewiesene, erstklassige Kontrolle über die Laserquelle ermöglicht eine Prozesskonsistenz mit höchster Ausbeute
- Fortgeschrittene Bildverarbeitungs- und Bewegungssysteme bieten erheblich verbesserte Positionierungs- und Alignementmöglichkeiten
- Optional sind kurz- oder langpuls Laserquellen verfügbar
Technische Daten
Strahlpositionierung: | Hochgeschwindigkeitsgalvanometerscanner mit geschlossener Kontrollschleife |
Auflösung: | 0.02 μm |
Genauigkeit: | ± 2.0 μm |
Wafer Größe: | Unterstützt 100 – 200 mm Wafer |
Achsen: | X, Y, Z, W, Theta |
Fokusgröße: | 6.5 μm bis zu 12 μm (Optional 5 μm) |
Beladung: | automatisiert (manuell als Option) |
Optionen
- 3-Achs Servo-Roboter und Wafer Zentrierer
- Wafergreifer mit Magazinmapping
- Integration von kundenseitigen Testern
- Detektion von anwesenden, fehlenden oder schräg eingeordneten Wafern
- OCR und Barcode Leser
- SEMI Schriftart mit Verifikationssumme und Barcode
- Signalampel
- Option für Tape/Film Frame
- Option für das automatische Reinigen der Messspitzen
- Option für das optische Ausrichten der Messspitzen
- Inspektion der Messspitzen mittels hoch und geringauflösender Bildverarbeitung
Software
Die benutzerfreundliche Wafertrimmsoftware verbessert die Effizienz des Systems und bietet eine Kompatibilität zu bestehenden M310 Programmen.
Produktdatenblatt
Exklusive Lizenzrechte für das Circuit-Trimm-Produktportfolio der Electro Scientific Industries, Inc. (ESI)
Mit dem Lizenzabkommen 2020 erwarb die Photonics Systems Group – und damit auch L-TRIS – Patente und Expertise für die Produktion, den Support sowie den Service des ESI Wafer-Trimsystems M350. Auf diesem Weg werden die kontinuierliche Beratung und Betreuung von Kunden, die diese Systeme im Einsatz haben, ermöglicht.